隨著工業(yè)科技的快速發(fā)展,高壓鼓風(fēng)機(jī)在芯片制造設(shè)備中扮演著關(guān)鍵角色,主要通過提供穩(wěn)定,潔凈的高壓氣流來滿足精密工藝需求.以下是其具體作用及重要性：1.環(huán)境潔凈度控制顆粒物清理：芯片制造對潔凈度要求高(如ISO1級無塵室)。高壓鼓風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的氣流可吹去設(shè)備內(nèi)部的微小顆粒，防止污染晶圓。正壓維持：通過向關(guān)鍵區(qū)域(如光刻機(jī)內(nèi)部)持續(xù)輸送高壓過濾空氣，阻止外部污染物侵入。2.工藝氣體輸送精確供氣：在蝕刻、沉積(CVD/PVD)等工藝中，高壓鼓風(fēng)機(jī)將特種氣體(如氬氣、氮?dú)?以穩(wěn)定壓力和流量...
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